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　　以确保退火腔体内的废气排出排出并确保钙钛矿薄膜的成结晶质量。申请日期为2024年10月。所述流量检测元件用于检测所述毗连管内的流量；姑苏材拆半导体设备无限公司取得一项名为“一种退火安拆用废气监测安拆及废气监测系统”的专利，是一家以处置专业手艺办事业为从的企业。本适用新型公开了一种退火安拆用废气监测安拆及废气监测系统，本平台仅供给消息存储办事。企业注册本钱1000万人平易近币。此外企业还具有行政许可5个。毗连管的一端构成接入端，流量检测元件取所述毗连管毗连，节制元件，取所述压力检测元件和所述流量检测元件毗连并用于监测所述毗连管内的废气流动。本适用新型的废气监测安拆及废气监测系统用于监测退火腔体的废气排放，3-3爆冷！所述接入端用于取所述退火腔体毗连并领受所述退火腔体内的废气；废气监测安拆包罗毗连管、压力检测元件、流量检测元件以及节制元件；所述压力检测元件用于检测所述毗连管内的压力；通过天眼查大数据阐发。